第380章 光刻机调试遇难题，江辰三言两语点破天机！
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  国庆假期的热度还没完全散去，光刻机研发中心那边就传来了消息。
  不是好消息。
  曹所长在电话里的声音有点低沉，跟之前报喜的时候判若两人：
  “江院士，整机调试出了点问题。”
  “工件台和物镜系统的联调，定位精度一直达不到预期值。”
  “我们反覆校准了好几遍，雷射干涉仪的读数就是稳不住，总是在最后几位小数点上来回跳。”
  江辰正在国科院图书馆翻一本关於量子纠缠纯化方案的前沿论文，听到这话放下书：“跳多少？”
  “零点几纳米。”
  “那確实不正常，我过去看看。”
  掛了电话。
  江辰收拾东西往外走。
  唐若曦刚好抱著一摞书过来，看他表情就知道有事：“光刻机那边？”
  “嗯，联调出了点小问题。”
  “严重吗？”
  “不严重，但挺隱蔽的。”